【喜報(bào)】全國首發(fā):石家莊安瑞科磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱實(shí)現(xiàn)批量交貨
3月20日,由石家莊安瑞科研制成功的全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱實(shí)現(xiàn)交貨,標(biāo)志著電子氣體儲運(yùn)裝備領(lǐng)域的新突破。
石家莊安瑞科作為國內(nèi)規(guī)模最大的電子氣體儲運(yùn)裝備供應(yīng)商,自2008年起始終致力于為行業(yè)及客戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品。在半導(dǎo)體器件制備工藝中,經(jīng)常采用一定濃度的磷烷和氫氣混合作為重要的N型摻雜源,由于磷烷與氫氣混合氣毒性程度極高,目前主要采用Y-ton氣瓶或者焊接小氣瓶進(jìn)行儲運(yùn)。多年來,公司始終踐行“支持芯片強(qiáng)國、踐行民族制造”的發(fā)展戰(zhàn)略,深入研究磷烷與氫氣混合氣儲運(yùn)裝備核心關(guān)鍵技術(shù),快速研發(fā)推出大容積管束式集裝箱,現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)批量推廣。
該管束式集裝箱作為全國首臺針對磷烷與氫氣混合氣的專用大容積儲運(yùn)裝備,將極大促進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,大幅度降低氣體公司的運(yùn)營成本,進(jìn)一步豐富和擴(kuò)大石家莊安瑞科“電子氣體裝備超市”的數(shù)量與規(guī)模,保持核心技術(shù)的領(lǐng)先優(yōu)勢。
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